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晶圆缺陷检测设备
晶圆缺陷检测设备备件
右侧 风机过滤单元
设备
SP1
规格
ULPA ASSY,W/GORE-TEX,220VAC,SP1-DLS —Right
SP1-DLS左侧风机过滤单元
设备
SP1
规格
ULPA ASSY,Top W/GORE-TEX,SP1- Left
控制器接口电路板
设备
9380
规格
loadport
氙气灯
设备
Archer
规格
REPAIR,FRU,LDLS XENON LAMP,A500,REV2
标样清洁凝胶
设备
Archer
规格
KIT,REF SUBSTRATE CLEANING
激光电源
设备
Complus-3T
规格
Spectra-Physics J20-8S-12K-23
高压控制器
设备
9380
规格
CDSEM 高压控制器(HV unit)
PZT 驱动板
设备
Archer 10
规格
Archer 10 PZT Driver Board
摇杆鼠标
设备
BF2367
规格
JOYSTICK 2-AXIS 2367
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