美赫SP2晶圆缺陷检测设备现场观摩活动圆满结束
2022年7月27日,美赫组织了一次客户现场观摩SP2设备活动,来访客户就SP2晶圆缺陷检测的生产工艺、生产设备等相关问题进行了深入的交流。
美赫的SP2晶圆检测设备存放于百级的恒温恒湿洁净室内,在洁净室外设有环境颗粒物浓度监测报警系统,通过监测报警系统进行实时监测,当洁净室内环境不达标时监测系统会发出报警,并启动自动化控制来优化环境指标。
进入无尘洁净室前,需按照规范和步骤进行全身防护及除尘步骤,具体如下:
1、进入更衣室后,穿戴好无尘帽、无尘口罩、无尘衣、静电防尘手套、无尘裤、无尘鞋或者鞋套。
2、紧接着按照要求进入风淋室。
3、风淋室会将附着在衣物表面的灰尘颗粒物等空气污染物进行清洁,待风淋室停止工作后,人员便可进入无尘洁净室。
活动现场,参与人员按照要求进入洁净室内观摩SP2晶圆缺陷检测设备,经相互探讨交流后,美赫SP2晶圆缺陷检测设备赢得大家的肯定,此次活动圆满落幕。